Valg 316L rustfrit stål til Semiconductor gasfilter Ved yaang.com efter Yane Yang

Den fortsatte stigning i halvleder-enhed raffinement, og deraf fald i linjebredder, kræver renere komponenter i hele gas levering proces-systemer. Korrekt udformet høj renhed gas filtersamlinger er transparente for homogene bestanddele i gasstrømmen, dvs., at fjerne partikelforurening uden anden virkning på indsugningsgassens renhed. For at opnå dette mål, er enheder, der bruges til at huse filteranordningerne oftest konstrueret af glatte, rene og elektropoleret. 316 rustfrit stål

"Glat og ren" er et relativt begreb, der kræver mere eksplicit definition. Specifikationskrav er etableret, når ydeevne grænser for filteraggregater er klart forstået og målbare. For eksempel er fugt bidrag og overfladeruhed rimeligt veldefineret. Imidlertid er disse kriterier baseret på målinger begrænset af følsomheden af ​​den bedste tilgængelige instrumentering. For at opfylde disse kriterier, at de "bedste" tilgængelige råvarer fra hvilke fabrikere komponenter ofte specificeret. Logikken i blot plukke det bedste materiale følger kun hvis materialet i sidste ende opfylder de tilsigtede specifikation krav, og hvis filterenheden producenten forstå hvilket materiale egenskaber. er styrende

Yaang omhyggeligt evaluerer alle råvarer, der anvendes til at fremstille halvleder gas filteraggregater. Der er mange vigtige egenskaber for 316L rustfrit stål, der skal overvejes i at designe disse høje renhed forsamlinger. Type 316L rustfrit stål er et godt karakteriseret og forstået legering. Dens gode korrosionsbestandighed er et resultat af både omhyggelig formulering af de vigtigste legeringselementer (Fe, Ni, Cr, Mn og Mo) samt kontrol af kritiske sporbestanddele (C, S og Si). I lighed med andre færdige komponenter, filtrer forsamlinger udnytte rustfrit stål, som er blevet yderligere bearbejdet, dvs, valset, trukket, bearbejdet, eller svejst.

I disse tilfælde er det ikke tilstrækkeligt blot at angive materiale kemi. Hver påtænkte anvendelse af rustfrit stål kan medføre mindre ændring af den grundlæggende specifikation, men de mest almindeligt specificerede krav, i en fin, elektropoleret overfladefinish er:

  • balanceret 316L kemi

  • homogen austenitisk. . mikrostruktur

  • meget få indeslutninger

  • fint korn struktur

    Materialer Sammenligning:.. Rustfrit stål Bar

    HEAT ID #

    SPEC.- - »N /A

    SA47935439

    TypicalN /A

    VAR Spec.Typ.1ELEMENTAL(%):



    FeBAL.BAL.BAL.Cr16-1817.116-18Ni10-1412.010-14Mo2-32.12-3Mn2*1.7<2Si1.0*0.45≈0.5C0.03*0.020<0.03S0.03*0.0020≤0.005* = Maksimum

    yderligere kriterier

    kornstørrelse-5Not Specified2INCLUSION TYPE

    (ASTM E-45) -NUMBERNUMBERSulfides-0.52.03Alumina-003Silicates-02.53Oxides-1.51.53 1 316L VAR angiver ikke (eller resultere i) kemisk sammensætning, der er af højere ydeevne end SA479 med noterede undtagelse af reduceret svovl

    2. Typisk målte værdier var inden et vindue på 5-10.

    3 Ikke angivet. Typisk er angivet.

    For at fjerne mikroskopiske hulrum i smelten, samt til yderligere oprensning metallet ved at reducere visse urenheder forurenende, mange høj renhed rustfrit stål underkastes en sekundær smelteproces (f.eks vakuum bue omsmeltning, kendt som VAR) . Denne proces reducerer sulfider, silicater, phosphater, aluminiumoxider, og andre urenheder. Af disse urenheder, svovl er de mest skadelige for opnåelsen af ​​fine overflade finishe (forudsat de andre urenheder er inden for normalt specificerede grænser).

    Disse sporforureninger tendens til at forstyrre ("pause") den stabile austenitisk struktur og form, indeslutninger, som er mindre ædle end den forælder metal. Når indeslutninger er sjældne og meget lille i størrelse, kan dette ikke være et problem. Men når meget fine overflader (< 10 u-inch Ra), der ønskes, alle optagelser viser sig efter den endelige mekanisk polering eller elektropolering. Det er grunden til, at 100X mikroskopisk inspektion efter fin mekanisk polering er almindeligt anvendt til at kvantificere indholdet af integration. Elektropolering ofte fremhæver manglerne i overfladen ved at fjerne de mindre ædle indeslutninger først via præferentiel opløsning.

    Grain strukturen skal også overvejes, når du vælger høj renhed rustfrit stål. Finkornede materialer er at foretrække, da de har tendens til at være mere homogene. Som korn vokser (fx under langsom afkøling), der er mere tid til austenit breakers til udfældning ved korngrænserne. Dette har den virkning at omdanne en ren forskydning af strukturen ("sunde" korngrænser) på et sted for indeslutninger. Desuden finkornede materialer foretage elektrisk strøm mere ensartet. Ensartet konduktans er en vigtig egenskab under elektropolering processen

    Kilde:. Zhejiang Yaang Pipe Industry Co, Limited (www.yaang.com)